製品の概要
人工ダイヤモンドを除いて、高インピーダンスの真性シリコン(高インピーダンスシリコン)材料は非常に広い範囲で(1.2 µm)までmm(1000µmまたは8000µm)波の各等方性けっしょうざいりょう。ダイヤモンドよりもずっと安く、成長製造が容易です。そして彼はもっと大きくて作りやすくて、THz技術の急速な発展は、この利点に基づいている。の場合THzアプリケーションは、1000 µm (より長い波長に対して、3000さらに8000ミクロン)透過率が50-54%のHigh Resistivity Float Zone Silicon (HRFZ-Si)。高インピーダンス浮遊領域固有シリコン材料、および関連光学素子。
合成電解質シリコンの誘電率は伝導率によって決定される(例:自由電子-キャリア濃度)。図3表示されるのは、1THz下、異なる純度におけるシリコンの誘電率.低ドープ誘電率は真の値に近く、高周波誘電率にほぼ等しい。ドーピング濃度が高くなると、真の誘電率は負になり、無視できなくなる。誘電率によって特徴付けられるのはTHz波の伝送損失特性。損失係数は次の式で計算できます。tanδ=1/(ω*εv*ε0*R),ここω –えんしゅうはすう, εv –真空下の誘電率(8.85*10-12 F/m)。ε0 –シリコンの誘電率(11.67), Rは抵抗値です。たとえば、1THz下に、10 kOhmていこうちHRFZ-Si損失係数は1.54*10-5。
1 mm厚の高インピーダンス真性シリコン窓板のテラヘルツ時間領域分光計試験データ
高インピーダンス真性シリコン製品
-高インピーダンスシリコン基板/基板/窓シート
-高インピーダンスシリコーンボールレンズ
-高インピーダンスシリコンビームスプリッタ
-高インピーダンスシリコンレンズ
1、高抵抗シリコン基板2、高抵抗シリコンF-Pエタロン
3、高抵抗シリコンテラヘルツ半球レンズ4、高抵抗シリコンテラヘルツ弾丸型レンズ
5、高抵抗シリコンレンズ6、高抵抗シリコンプリズム